截至10月31日收盘，光刻机概念板块上涨5.24%，成为当日涨幅最大的概念板块。板块内，共有30只股票上涨，其中炬光科技和茂莱光学涨停，张江高科、永新光学也涨停。富创精密、波长光电和新莱应材分别上涨了18.11%、10.73%和8.58%。跌幅较大的有百傲化学和大族激光，分别下跌4.81%和0.77%。

从资金流向来看，当天光刻机概念板块获得了1.66亿元的主力资金净流入。具体到个股，张江高科以5.45亿元的净流入额位居榜首，其次是富创精密、永新光学和茂莱光学，它们分别获得了1.40亿元、5112.69万元和5026.78万元的资金净流入。此外，在资金流入比率方面，张江高科、永新光学和富创精密表现突出，其净流入率分别为38.86%、15.98%和13.33%。